以下是PVD退镀剂的标准化工艺流程及关键技术要点，综合化学退镀、电解退镀及激光退镀三种主流工艺：
⚙️ 一、预处理阶段
- 基材清洁
- 机械打磨/氩离子轰击去除表面油脂、氧化物，提升退镀均匀性
- 重点处理凹陷/缝隙等膜层薄弱区域，避免残留
- 装夹调试
- 固定工件并调整靶材距离，确保退镀均匀性
- 检测真空系统密封性（压升率≤5×10⁻³ Pa/min）及退镀液参数（温度/浓度）
? 二、退镀核心工艺
1. 化学退镀
注意：含氟配方需控温防挥发，无氟配方（如氢氟酸替代剂）适用300系不锈钢
2. 电解退镀
- 操作流程： ① 原液注入电解槽，工件连接阳极（电压20-40V） ② 常温处理3-10分钟，电流密度1.5-3 A/dm² ③ 添加EDTA络合金属离子，防止再沉积
- 优势：退镀速率达0.8-1.2μm/min，废水COD低
3. 激光退镀
- 精密控制：
- 皮秒紫外激光聚焦镀层区域（光斑直径≤50μm）
- 瞬时高温（＞3000℃）蒸发膜层，透光率损失＜1%
- 适用：玻璃/蓝宝石基材的精密镀膜去除
?️ 三、后处理工艺
- 清洗除残
- 超声波清洗（频率40kHz）或氮气吹扫去除表面药液
- 钝化防护
- 无镍封孔剂处理金属基材，提升抗二次氧化能力
⚠️ 四、常见问题与对策
? 五、创新工艺方向
- 复合退镀：强酸强碱盐+缓蚀剂复配，降低电解电压30%（钛阳极膜应用）
- 绿色替代：无氰退金剂（2μm/min退镀速率）实现贵金属安全回收
